真空镀膜的镀膜技术

真空镀膜的镀膜技术

真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。

真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。因此真空镀膜技术被誉为最具发展前途的重要技术之一，并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。这种新兴的真空镀膜技术已在国民经济各个领域得到应用，如航空、航天、电子、信息、机械、石油、化工、环保、军事等领域。

PVD真空镀膜原理是什么

目前常用的PVD有三种：真空蒸镀、溅射镀膜和离子镀；它们的工作原理如下：1、真镀空膜：是在适当的压强下用电子束等热源加热材料使之蒸发，蒸发的原子或分子直接在工件表面形成沉积层；

2、溅射镀膜：是不采用蒸发技术的物理气相沉积方法，施镀时，将工作室抽成真空，冲入氩气做为工作气体，并保持其压力为0.13至1、33帕；

3、离子镀：是在真空条件下，利用气体放电使气体或蒸发物质离子化，在气体离子或蒸发物质离子轰击作用下，把蒸发物质或其他反应物蒸镀在工件上。

真空镀膜机的操作程序

1、检查真空镀膜机各操作控制开关是否在关位置；

2、打开总电源开关，设备送电；

3、低压阀拉出，开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起；

4、安装固定钨螺旋加热子，把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上，把铝丝穿放在螺旋加热子内，清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物；

5、落下钟罩；

6、启动抽真空机械泵；

7、开复合真空计电源；

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。